PROCESS ENGINEERING ANALYSIS IN SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION by S. Middleman and A.K. Hochberg

Autores/as

  • Bridget R. Rogers Motorola Inc.
  • Timothy S. Cale Arizona State University

Resumen

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Publicado

1995-09-01

Número

Vol. 29 Núm. 4 (1995): Fall 1995

Sección

Book Review